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澳门官方娱乐游戏平台: 低温泵维修过程中的氦质谱检漏

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低温泵维修过程中的氦质谱检漏


低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

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在低温泵内设有由液氦制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结,并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力,从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。闭路循环气氦制冷机低温泵它是70年代出现的新型低温泵。这种泵不消耗氦气、操作简便,易于维修,应用日渐广泛。本案中客户维修的低温泵就是CTI品牌的闭路循环气氦制冷机低温泵。

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